在掃描電子顯微鏡（SEM）成像過程中，偽影（artifacts）是指非原生的圖像特征，它們并不反映樣品的真實結構或成分。這些偽影可能會影響圖像質量和分析結果。了解偽影產(chǎn)生的原因以及減少它們的方法對于獲得準確的SEM圖像至關重要。

偽影的常見類型及其產(chǎn)生原因

充電效應（Charging Artifacts）

原因：非導電樣品在電子束照射下會積累電荷，因為這些材料無法有效導電使電荷散去。積累的電荷會引起電子束偏轉，導致圖像中的亮斑、條紋或整體失真。

減少方法：給樣品鍍上一層導電材料（如金、鉑或碳），提高樣品表面的導電性。

降低加速電壓，減少電子束對樣品的沖擊。

在低真空或環(huán)境模式下成像，以便氣體分子中和樣品表面電荷。

邊緣效應（Edge Effects）

原因：電子束在樣品邊緣發(fā)生散射，導致邊緣部分的信號增強。這可能導致邊緣比內(nèi)部區(qū)域顯得更亮。

減少方法：調整電子束的能量和光斑尺寸，以減少散射效應。

盡量避免樣品不平坦的邊緣暴露在圖像區(qū)域內(nèi)。

樣品損傷（Sample Damage）

原因：高能電子束可能引起樣品表面損傷，尤其是對有機或柔軟材料，如聚合物、生物樣品等，會導致結構變形或分解。

減少方法：使用低加速電壓。

降低電子束曝光時間，減小束流。

采用冷凍SEM技術，保護樣品不受電子束損傷。

振動偽影（Vibration Artifacts）

原因：外部振動會導致掃描電子顯微鏡的樣品臺或電子槍發(fā)生輕微移動，從而導致圖像模糊或重復的條紋。

減少方法：將顯微鏡置于抗震平臺上，減少環(huán)境振動。

確保顯微鏡的安裝位置遠離振動源，如機械設備、風扇或建筑工地。

掃描失真（Scanning Artifacts）

原因：由于掃描系統(tǒng)不穩(wěn)定或電子束的移動速度不一致，可能導致圖像出現(xiàn)拉伸、變形或錯位。

減少方法：定期校準掃描系統(tǒng)。

保證電源穩(wěn)定，避免電源波動對掃描速度的影響。

檢查線圈和掃描器件，確保其正常工作。

回旋電子偽影（Backscattered Electron Artifacts）

原因：回旋電子信號被附近結構反射回來，導致圖像中出現(xiàn)非預期的亮點或對比度異常。

減少方法：調整探測器位置，優(yōu)化信號采集。

選擇適當?shù)臉悠穬A斜角度以減少電子回旋的影響。

真空系統(tǒng)偽影

原因：真空系統(tǒng)內(nèi)的殘留氣體、污染物或油蒸氣可能與樣品發(fā)生作用，導致圖像出現(xiàn)條紋、霧狀層或不均勻亮度。

減少方法：確保真空系統(tǒng)清潔，避免污染。

定期維護真空泵，尤其是油擴散泵，防止油氣污染。

對比度和亮度調整不當

原因：成像過程中調整對比度和亮度時，過度調整可能導致偽影，如高對比度引起的假亮點或暗區(qū)。

減少方法：使用自動對比度和亮度功能，或通過手動調整使圖像不過度飽和。

校準SEM系統(tǒng)的探測器，優(yōu)化信號處理。

樣品污染（Contamination Artifacts）

原因：樣品受到環(huán)境污染、電子束分解有機物質或設備污染等因素的影響，可能會導致圖像中出現(xiàn)薄膜或沉積。

減少方法：采用干凈的樣品準備流程，避免接觸污染物。

使用低劑量的電子束，避免分解有機污染物。

定期清潔顯微鏡腔室及樣品臺。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡的圖像偽影產(chǎn)生的原因和減少方法。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢