在掃描電子顯微鏡（SEM）中，像散調(diào)整是確保圖像清晰、細(xì)節(jié)準(zhǔn)確的重要步驟。像散通常是由透鏡中的電磁場(chǎng)不均勻性或樣品傾斜引起的，以下是操作技巧和方法：

1. 確認(rèn)像散的存在

癥狀：圖像邊緣模糊、拉伸或出現(xiàn)雙影，尤其是在高放大倍率下。

初步判斷：調(diào)整焦距時(shí)，圖像清晰區(qū)域隨焦點(diǎn)變化。

放大倍率越高，像散影響越明顯。

2. 像散調(diào)整的基本流程

(1) 調(diào)整放大倍率

將放大倍率設(shè)置為 10,000x 或更高（建議高于實(shí)際觀察所需倍率）。

高倍率下更容易觀察到像散效果，便于調(diào)整。

(2) 優(yōu)化焦距

使用對(duì)比鮮明的區(qū)域（如樣品邊緣或表面特征）調(diào)整焦距。

確保圖像盡量清晰，為后續(xù)像散調(diào)整奠定基礎(chǔ)。

(3) 使用像散校正器（Stigmator）

SEM 通常配備 X 和 Y 方向的像散校正旋鈕或數(shù)字控制選項(xiàng)。

操作方法：調(diào)整 X 像散校正器，觀察圖像變化，直到圖像清晰。

調(diào)整 Y 像散校正器，進(jìn)一步優(yōu)化清晰度。

反復(fù)微調(diào) X 和 Y 方向，直到圖像無(wú)拉伸、清晰銳利。

(4) 再次優(yōu)化焦距

像散調(diào)整后，重新微調(diào)焦距，確保圖像清晰度。

3. 像散調(diào)整技巧

(1) 選擇適合的樣品區(qū)域

選擇表面平整、特征清晰的區(qū)域作為調(diào)整目標(biāo)。

樣品表面粗糙或特征模糊可能導(dǎo)致調(diào)整困難。

(2) 使用高對(duì)比度模式

切換到高對(duì)比度成像模式（如二次電子模式）以更清晰地觀察像散效果。

(3) 小幅調(diào)整

像散校正器的調(diào)整應(yīng)小幅度進(jìn)行，避免過(guò)度校正導(dǎo)致新的像散。

(4) 注意環(huán)境穩(wěn)定性

調(diào)整過(guò)程中避免外界振動(dòng)和電磁干擾，這些因素可能影響成像穩(wěn)定性。

4. 預(yù)防像散的措施

(1) 樣品制備

平整表面：確保樣品表面盡可能平整，減少傾斜。

導(dǎo)電涂層：對(duì)非導(dǎo)電樣品進(jìn)行金屬涂層處理，減少電荷積累。

(2) 優(yōu)化工作參數(shù)

使用適當(dāng)?shù)墓ぷ骶嚯x（Working Distance, WD），通常在 5-10 mm 范圍內(nèi)。

選擇合適的加速電壓（一般低電壓對(duì)像散的敏感性較低）。

(3) 定期校準(zhǔn)

定期校準(zhǔn) SEM 的電子光學(xué)系統(tǒng)，確保透鏡性能。

5. 像散調(diào)整失敗的應(yīng)對(duì)措施

(1) 檢查樣品

樣品表面是否有污染或損傷。

樣品是否固定牢固，避免傾斜或晃動(dòng)。

(2) 檢查設(shè)備

檢查透鏡是否有電磁場(chǎng)不穩(wěn)定或漂移現(xiàn)象。

確保 SEM 的真空系統(tǒng)正常運(yùn)行，避免電子束受氣體干擾。

(3) 降低放大倍率

如果在高倍率下無(wú)法校正像散，嘗試降低放大倍率進(jìn)行初步調(diào)整。

6. 像散調(diào)整的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)

熟悉調(diào)整響應(yīng)：不同 SEM 設(shè)備的像散校正器響應(yīng)速度和靈敏度可能不同，多加練習(xí)以掌握。

分步調(diào)整：先調(diào)整 X 方向，再調(diào)整 Y 方向，避免同時(shí)調(diào)整導(dǎo)致混亂。

保存設(shè)置：對(duì)固定樣品或相同實(shí)驗(yàn)條件，記錄校正參數(shù)，便于重復(fù)使用。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡消像散調(diào)整的操作技。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢