掃描電子顯微鏡（SEM）的成像質(zhì)量對(duì)使用環(huán)境高度敏感。以下是常見(jiàn)環(huán)境因素對(duì)成像的具體影響及應(yīng)對(duì)建議：

1. 機(jī)械振動(dòng)

影響：

振動(dòng)會(huì)導(dǎo)致圖像模糊、拖影，尤其在高放大倍率下較為明顯?？赡艹霈F(xiàn)線條抖動(dòng)、不連續(xù)，或者圖像整體“跳動(dòng)”。

來(lái)源：

樓板震動(dòng)、靠近電梯、空壓機(jī)、走廊人流等。

對(duì)策：

使用防震平臺(tái)或氣浮減震桌。

將SEM安放在獨(dú)立承重墻上或?qū)ｉT的抗震基座上。

遠(yuǎn)離振源設(shè)備，如離心機(jī)、電梯、水泵。

2. 電磁干擾

影響：

會(huì)引起掃描線條不穩(wěn)定、圖像出現(xiàn)波紋、條紋或周期性噪聲。

來(lái)源：

鄰近高壓電源、變壓器、大型電機(jī)、電焊設(shè)備或無(wú)線發(fā)射器。

對(duì)策：

使用電磁屏蔽室或屏蔽罩。

增加設(shè)備接地質(zhì)量，避免接地回路干擾。

避免SEM與高功率設(shè)備共用電源線路。

3. 溫度變化

影響：

熱膨脹會(huì)引起樣品臺(tái)漂移、圖像位移，特別在高分辨觀測(cè)或長(zhǎng)時(shí)間掃描中影響顯著。

來(lái)源：

空調(diào)頻繁啟停、陽(yáng)光直射、設(shè)備散熱不均等。

對(duì)策：

保持恒溫（建議波動(dòng)≤±1°C），理想環(huán)境溫度為20–22°C。

避免熱風(fēng)直接吹向SEM。

開(kāi)機(jī)預(yù)熱足夠時(shí)間（30分鐘以上），讓系統(tǒng)熱穩(wěn)定。

4. 濕度與空氣質(zhì)量

影響：

高濕度可導(dǎo)致電子學(xué)元件短路或真空系統(tǒng)冷凝，污染樣品或造成放電；空氣中灰塵、油煙等會(huì)沉積在透鏡系統(tǒng)，降低分辨率。

對(duì)策：

控制相對(duì)濕度在40%–60%。

保持實(shí)驗(yàn)室清潔，避免油煙或揮發(fā)性溶劑泄露。

安裝空氣過(guò)濾系統(tǒng)或凈化器。

5. 氣流擾動(dòng)

影響：

空氣流動(dòng)會(huì)帶來(lái)溫度波動(dòng)或微小振動(dòng)，使高倍率圖像飄移、模糊。

來(lái)源：

空調(diào)風(fēng)口、門窗開(kāi)關(guān)、人員活動(dòng)。

對(duì)策：

避免將SEM直接置于風(fēng)口下。

優(yōu)化氣流布局，關(guān)閉不必要的風(fēng)源。

保持門窗關(guān)閉，減少人員走動(dòng)。